Améliorer les températures de surface et les gradients thermiques, tout en réduisant les contraintes de temps
83 %
diminution de ΔT prouvée (de 13,8 à 2,3 mK)
5 x
amélioration de la stabilisation prouvée

Optimisation de la gestion thermique des équipements de semi-conducteurs

Échangeur thermique lamellaire imprimé en 3d en acier inoxydable Laserform 316L (B) dans la paume d'une main

Il est essentiel de maintenir les températures dans les plages du milliKelvin (mK), car toute perturbation du système a un impact à l'échelle du nanomètre. En optimisant les canaux de refroidissement et les modèles de surface, vous améliorez considérablement les températures de surface et les gradients thermiques tout en réduisant les constantes de temps. De cette manière, la vitesse et la précision du système s'en trouvent améliorées.  

Forts de nos nombreuses années d'expérience dans la production et les applications de semi-conducteurs, nous pouvons vous aider à utiliser la fabrication additive pour optimiser la gestion thermique des équipements de semi-conducteurs. Grâce à des conceptions uniques que seule la fabrication additive permet d'obtenir, vous pouvez dissiper efficacement la chaleur, améliorer le débit et augmenter la précision du système ainsi que les performances générales.

Améliorer le débit et la qualité de l'équipement de lithographie pour semi-conducteurs

Découvrez comment augmenter le débit et la qualité de l'équipement de lithographie pour semi-conducteurs avec une gestion thermique optimisée des tables de wafer et apprenez-en davantage sur la solution d'impression directe en métal capable de produire avec précision les conceptions les plus complexes.

2 renderings of Cold Plate Screens

Avantages de la fabrication additive en métal

  • tables de wafers de semi-conducteurs ntopology

    Conçu dans le logiciel nTopology.

  • Souplesse de conception

    La fabrication additive permet de concevoir de manière optimale (par exemple, en optimisation de la topologie), d'itérer rapidement et de fabriquer des tables de wafers aux caractéristiques complexes, comme les canaux de refroidissement, qui dissipent mieux la chaleur.
    nTopology
  • personne portant un équipement de protection et tenant une pièce imprimée en 3D

  • Qualité et précision élevées pour les environnements de salles blanches

    Nos solutions additives en métal garantissent des matériaux de qualité élevée et une grande précision des pièces, grâce à la production de pièces dans une atmosphère inerte présentant un niveau d'oxygène très faible et constant, le tout au moyen de processus propriétaires autorisant une élimination optimale des particules. Résultat : les pièces en métal répondent aux exigences des salles blanches et sont prêtes à être utilisées dans les équipements de lithographie.
  • tables de wafers sur une plateforme

  • Performances et productivité

    Une meilleure gestion thermique des composants critiques des équipements de semi-conducteurs, tels que les tables de wafers, permet d'améliorer la précision des équipements de semi-conducteurs de 1-2 nm tout en augmentant la vitesse et le débit. La vitesse et le temps de fonctionnement accrus de la machine permettent de traiter un plus grand nombre de wafers et d'augmenter la valeur globale du cycle de vie. La fabrication additive permet également d'obtenir des tables de wafer à la structure optimisée avec moins de pièces et d'assemblages. Le remplacement des assemblages en plusieurs pièces par des pièces monolithiques augmente la fiabilité, améliore le rendement de fabrication et réduit les coûts de main-d'œuvre.

Résoudre les problèmes d'efficacité thermique

  • rendu de gradients thermiques

    Réduction des gradients thermiques

    Les variations de température et de gradient thermique dans les tables de wafers ont un impact négatif sur le processus de lithographie et les performances du système, en provoquant des distorsions et en affectant le débit et la précision. 

  • main tenant un sablier

    Accélération de la mise sur le marché

    Pour optimiser l'efficacité thermique et les performances des tables de wafers à l'aide des méthodes de fabrication traditionnelles, plusieurs itérations de la conception sont généralement nécessaires, ce qui peut avoir un impact négatif sur les délais du projet.

  • 3 personnes discutant dans un atelier

    Réduire les coûts et améliorer la fiabilité

    Produire des tables de wafers plus complexes par les moyens traditionnels, par exemple en introduisant des joints de soudure, a généralement pour effet d'augmenter le coût des pièces. Les performances des pièces et la fiabilité en pâtissent également.

Ressources

  • Bannière des tables de wafers de semi-conducteurs 3D Systems

    Gestion thermique des tables de wafers avec la fabrication additive

    Optimisez le transfert de chaleur dans un espace limité et maîtrisez mieux la gestion thermique grâce à des stratégies de conception et de production que seule la fabrication additive rend possibles.

    Lire le descriptif
  • Couverture d'un ebook sur les semi-conducteurs

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    Dans cet ebook, vous découvrirez comment les décennies d'expérience et de savoir-faire de 3D Systems aident à intégrer la fabrication additive en métal pour améliorer les performances, la productivité et la fiabilité des fabricants et des fournisseurs de biens de production de semi-conducteurs.

    Obtenir l'ebook
  • Wafers en silicium et micro-circuits sur un bras robotisé

    Fabrication additive pour les biens d'équipement de semi-conducteurs

    Découvrez comment la fabrication additive en métal de 3D Systems peut donner aux fabricants et aux fournisseurs d'équipements de production de semi-conducteurs les capacités dont ils ont besoin pour améliorer les performances, la productivité et la fiabilité.

    Lire notre brochure

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