Améliorez les performances des produits et l'efficacité du mélange, améliorez la fiabilité et réduisez les coûts de fabrication en utilisant l'impression directe en métal pour produire avec des facteurs de forme optimisés et des trajectoires de gaz plus efficaces
20:1
de réduction de composant
100 %
étanche
3 x
plus efficace

Réduire le nombre de pièces tout en améliorant l'efficacité du mélange et de l'acheminement de gaz

A 3D printed Gas Mixer

Coupe d'une impression 3D en métal d'un mélangeur de gaz avec un refroidissement actif

L'acheminement de gaz caustique dans une chambre de traitement scellée est typique des systèmes de traitement humide tels que le nettoyage et la gravure de biens d'équipement pour semi-conducteurs. Par conséquent, il est essentiel d'obtenir un acheminement efficace des gaz, qu'ils aient besoin de rester séparés ou de se mélanger, sans fuite, avec une turbulence d'écoulement limitée et via des ouvertures minimales dans la chambre de traitement. Cela implique des mélangeurs de gaz complexes et à composants multiples et des assemblages de dispositifs d’alimentation en matériaux résistants aux gaz corrosifs.

Tout cela peut être optimisé à l'aide des solutions d'impression 3D directe en métal et du savoir-faire en équipement pour semi-conducteurs de 3D Systems. Il est possible de concevoir des systèmes d'acheminement de gaz avec moins de composants pour s'adapter aux espaces plus petits avec une plus grande fiabilité. En outre, ces mélangeurs de gaz optimisés et plus complexes peuvent être développés en beaucoup moins de temps, afin de mettre plus rapidement sur le marché des mélangeurs plus efficaces. 

Avantages de la fabrication additive en métal

  • Semiconductor Design Flexibility - Gas Conveyance

  • Souplesse de conception

    La fabrication additive permet de concevoir de manière optimale, et d'itérer et de fabriquer rapidement des dispositifs d'alimentation en gaz et des mélangeurs de gaz dans des espaces restreints, avec des trajectoires de gaz modélisés numériquement qui transmettent de manière fiable et efficace les gaz vers la chambre de traitement.

  • Semiconductor Clean Room Environments

  • Qualité et précision élevées pour les environnements de salles blanches

    La haute qualité des matériaux, les détails fins et la grande précision des pièces produites dans une atmosphère inerte avec un niveau d'oxygène très faible et constant (le tout avec des processus exclusifs pour une propreté optimale des particules) permettent d'obtenir des pièces en métal qui répondent aux exigences des salles blanches et conviennent à une utilisation dans les équipements pour semi-conducteurs.

  • Background image

  • Performances et productivité

    Une réduction de la turbulence de l'écoulement des gaz permet une répartition précise et uniforme du nettoyage et de la gravure des gaz, augmentant ainsi l'efficacité globale du système et le débit pour traiter davantage de wafers. La fabrication additive permet également d'optimiser la structure des dispositifs d'alimentation en gaz en réduisant le nombre de pièces et d'assemblages. Le remplacement des assemblages en plusieurs pièces par des pièces monolithiques augmente la fiabilité, améliore le rendement de fabrication et réduit les coûts de main-d'œuvre.

Optimiser le mélange et l'acheminement de gaz

  • Improve Gas Flow Efficiency - Gas Conveyance

    Améliorer l'efficacité de l'écoulement des gaz

    La fabrication additive offre aux ingénieurs d'équipements pour semi-conducteurs une souplesse de conception sans précédent. Ils sont capables de développer des motifs internes, des formes d'embout et des chambres de mélange innovants, optimisant ainsi l'écoulement et le mélange de gaz pour une performance et une efficacité maximales.

  • a technician holding a wafer

    Augmenter la fiabilité

    La fabrication additive permet d'optimiser la structure des dispositifs d'alimentation en gaz et des mélangeurs de gaz en réduisant le nombre de pièces et d'assemblages. Cela améliore considérablement la fiabilité des composants en éliminant les fuites de fluide aux connexions sous les températures et les pressions de fonctionnement les plus élevées pour une plus grande intégrité des composants.

  • Semiconductor Gas Mixer with ruler

    Réduire le volume

    Les parois plus minces et la consolidation des composants offrent une intégrité étanche et permettent une fonctionnalité plus efficace dans une taille de conditionnement plus petite. Produisez des caractéristiques multi-axes et des volumes enclavés avec une grande facilité par rapport aux processus de fabrication traditionnels.

Ressources

  • Semiconductor ebook cover

    Adopter et faire évoluer rapidement la fabrication additive métallique

    Dans cet ebook, vous découvrirez comment les décennies d'expérience et de savoir-faire de 3D Systems aident à intégrer la fabrication additive en métal pour améliorer les performances, la productivité et la fiabilité des fabricants et des fournisseurs de biens de production de semi-conducteurs.

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  • Silicon Wafers and Microcircuits sitting on a robot arm

    Fabrication additive pour les biens d'équipement de semi-conducteurs

    Découvrez comment la fabrication additive en métal de 3D Systems peut donner aux fabricants et aux fournisseurs d'équipements de production de semi-conducteurs les capacités dont ils ont besoin pour améliorer les performances, la productivité et la fiabilité.

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